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台積電先前已公布的規畫圖與最新進展,A16(1.6nm)製程工藝預計將於2026年下半年量產,將搭載先進的背面供電(Backside Power Delivery)技術,台積電稱其為「超級供電軌」(Super Power Rail),可以提升晶片能效表現。
據業界消息,台積電並沒有為A16製程準備High-NA EUV曝光機,而是準備採用現有EUV曝光機生產。相比之下,Intel、三星都將在這一節點使用最新的High-NA EUV曝光機。
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